| 000 |
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| 001 |
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1000067562 |
| 005 |
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20171221094444.0 |
| 010 |
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■a978-7-121-31227-4■dCNY69.00 |
| 100 |
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■a20170512d2017 em y0chiy50 ea |
| 101 |
0_ |
■achi |
| 102 |
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■aCN■b110000 |
| 105 |
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■aa a 000yy |
| 106 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a集束型晶圆制造装备调度及其优化算法■d= Scheduling and optimation algorithm f+...... |
| 210 |
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■a北京■c电子工业出版社■d2017 |
| 215 |
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■a328页■c图■d26cm |
| 312 |
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■a英文并列题名取自封面 |
| 320 |
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■a有书目 |
| 330 |
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■a本书以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型装备各类调度问题，运用优化调度+...... |
| 510 |
1_ |
■aScheduling and optimation algorithm for cluster tools of w+...... |
| 606 |
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■a半导体工艺设备■x调度■Aban dao ti gong yi she bei |
| 606 |
0_ |
■a半导体工艺设备■x最优化算法■Aban dao ti gong yi she bei |
| 690 |
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■aTN305■v5 |
| 701 |
_0 |
■a李林瑛■4著■Ali lin ying |
| 701 |
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■a卢睿■4著■Alu rui |
| 801 |
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■aCN■bGSXY■c20171221 |
| 905 |
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■aGSXY■fTN305/L496 |
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