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■a纳米集成电路制造工艺■d= Nanoscale integrated circuits : the manufact+...... |
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■a第2版 |
| 210 |
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■a北京■c清华大学出版社■d2017 |
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■aⅩⅣ, 471页■c图■d26cm |
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■a有书目 |
| 330 |
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■a本书共19章，涵盖先进集成电路工艺的发展史，集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂+...... |
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■a相关技术人员 |
| 510 |
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■aNanoscale integrated circuits : the manufacturing process■+...... |
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■a纳米材料■x集成电路工艺■Ana mi cai liao |
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■aTN405■v5 |
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■a张汝京■4编著■Azhang ru jing |
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■aGSXY■fTN405/Z681=2 |
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■a科技推荐■b电子技术■cGHI |
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