| 000 |
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20210507100331.0 |
| 010 |
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■a978-7-302-51757-3■dCNY68.50 |
| 100 |
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■a20191115d2019 em y0chiy50 ea |
| 101 |
1_ |
■achi■cger |
| 102 |
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■aCN■b110000 |
| 105 |
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■aa a 000yy |
| 106 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a微系统设计导论■d= Introduction to microsystem design■f(德) 沃纳·卡尔·施+...... |
| 205 |
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■a第2版 |
| 210 |
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■a北京■c清华大学出版社■d2019.09 |
| 215 |
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■a230页■c图■d26cm |
| 306 |
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■a由德国施普林格公司授权出版 |
| 320 |
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■a有书目 (第227-230页) |
| 330 |
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■a本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计, 包括薄层、弹性元件 (如膜片、微梁) 、应变和位移的+...... |
| 510 |
1_ |
■aIntroduction to microsystem design■zeng |
| 606 |
0_ |
■a微电子技术■x设计■Awei dian zi ji shu |
| 690 |
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■aTN40■v5 |
| 701 |
_1 |
■a施默博格■g(Schomburg, Werner Karl)■4著■Ashi mo bo ge |
| 702 |
_0 |
■a董瑛■4译■Adong ying |
| 801 |
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■aCN■bGSXY■c20210507 |
| 905 |
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■aGSXY■fTN40/S512=2■g1448330■g1448331■g1448332 |
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