文献类型:专著 浏览次数:29
  • 题名:微机电系统 (MEMS).元器件、电路及系统集成技术和应用
  • 责任者:(美) 维卡斯·乔杜里, (加) 克日什托夫·印纽斯基主编
  • 出版社机械工业出版社
  • 出版年:2020.05
  • ISBN:978-7-111-64958-8
  • 定价:139.00
  • 载体形态项:XXIII, 383页 26cm
  • 个人责任者:乔杜里主编、印纽斯基主编、周海宪译、程云芳译、周华伟译
  • 学科主题:微机电系统
  • 中图法分类号:TH-39
  • 提要文摘附注:本书共19章, 分为两大部分: 第1-9章为技术部分, 讨论各类新型微机电系统 (MEMS) 器件 ; 第10-19章属应用部分, 详细阐述以MENS为基础的各种新颖的应用。
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