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■a978-7-111-68881-5■dCNY69.00 |
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■achi |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a芯片制造■e半导体工艺与设备■f陈译, 陈铖颖, 张宏怡编著■Axin pian zhi zao |
| 210 |
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■a北京■c机械工业出版社■d2022.01 |
| 215 |
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■a188页■c图■d24cm |
| 225 |
2_ |
■a半导体与集成电路关键技术丛书■Aban dao ti yu ji cheng dian lu guan jian j+...... |
| 225 |
2_ |
■a微电子与集成电路先进技术丛书■Awei dian zi yu ji cheng dian lu xian jin j+...... |
| 320 |
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■a有书目 |
| 330 |
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■a本书着重介绍了半导体制造设备, 并从实践的角度出发, 选取了具有代表性的设备进行讲解。为了尽量能够让读者加深对各种设+...... |
| 410 |
_0 |
■12001 ■a半导体与集成电路关键技术丛书 |
| 410 |
_0 |
■12001 ■a微电子与集成电路先进技术丛书 |
| 517 |
1_ |
■a半导体工艺与设备■Aban dao ti gong yi yu she bei |
| 606 |
0_ |
■a芯片■x半导体工艺■Axin pian |
| 690 |
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■aTN430.5■v5 |
| 701 |
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■a陈译■4编著■Achen yi |
| 701 |
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■a陈铖颖■4编著■Achen cheng ying |
| 701 |
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■a张宏怡■4编著■Azhang hong yi |
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■aCN■bGSXY■c20221105 |
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■aGSXY■fTN430.5/C236■g1602177■g1602178■g1602179■g1602180 |
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