| 000 |
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01219nam0 2200277 450 |
| 010 |
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■a978-7-111-72041-6■dCNY99.00 |
| 100 |
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■a20230323d2023 em y0chiy50 ea |
| 101 |
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■achi |
| 102 |
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■aCN■b110000 |
| 105 |
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■aak a 000yy |
| 106 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a一本书读懂芯片制程设备■f王超 ... [等] 编著■Ayi ben shu du dong xin pian zh+...... |
| 210 |
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■a北京■c机械工业出版社■d2023.02 |
| 215 |
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■a254页■c图■d24cm |
| 225 |
2_ |
■a集成电路科学与技术丛书■Aji cheng dian lu ke xue yu ji shu cong shu |
| 304 |
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■a题名页题其余责任者: 姜晶, 牛夷, 王刚 |
| 314 |
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■a王超, 清华大学精密仪器系教授, 国家级人才称号获得者。 |
| 320 |
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■a有书目 |
| 410 |
_0 |
■12001 ■a集成电路科学与技术丛书 |
| 606 |
0_ |
■a芯片■x工业生产设备■Axin pian |
| 690 |
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■aTN43■v5 |
| 701 |
_0 |
■a王超■4编著■Awang chao |
| 701 |
_0 |
■a姜晶■4编著■Ajiang jing |
| 701 |
_0 |
■a牛夷■4编著■Aniu yi |
| 701 |
_0 |
■a王刚■4编著■Awang gang |
| 905 |
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■aGSXY■fTN43/W814■g1616113■g1616114■g1616115 |
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