文献类型:专著 浏览次数:6
  • 题名:微机电系统工程基础
  • 责任者:蒋永刚主编
  • 出版社北京航空航天大学出版社
  • 出版年:2023.6
  • ISBN:978-7-5124-4022-7
  • 定价:39.00
  • 载体形态项:149页 26cm
  • 个人责任者:蒋永刚主编
  • 学科主题:微机电系统
  • 中图法分类号:TH1
  • 提要文摘附注:本书循序渐进, 体系严密, 概括了基本传感原理和制造方法, 讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识, 描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法, 及其相关的传感器与执行器, 详细介绍了微制造中常用的体微机械加工和表面微机械加工技术, 而器件制造方法则岔入到实例研究中, 讨论了与聚合物有关的。MEMS制造技术 根据这些敏感与执行方法以及制造方法, 选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍, 包括微流控应用、用于扫描探针显微术的器件、光MEMS, 介绍了工艺集成问题和项目管理问题。
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