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■a集成电路工艺实验基础■f石建军, 郭颖主编■Aji cheng dian lu gong yi shi yan ji+...... |
| 210 |
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■a上海■c东华大学出版社■d2023.6 |
| 215 |
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■a164页■c图■d26cm |
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■a高等教育“十四五”部委级规划教材 |
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■a有书目 (第164页) |
| 330 |
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■a本书分3章, 共26个实验, 第1章为基础工艺, 包含真空技术、硅片的清洗及氧化、光刻工艺流程实验教学、氧等离子体刻+...... |
| 333 |
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■a本书适用于集成电路工艺实验基础学习者 |
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■a集成电路工艺■x实验■Aji cheng dian lu gong yi |
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■aTN405■v5 |
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■a石建军■4主编■Adan jian jun |
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■a郭颖■4主编■Aguo ying |
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■aGSXY■fTN405/D421■g1669359■g1669360■g1669361■g1669362 |
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