文献类型:专著 浏览次数:11
  • 题名:太赫兹行波管高频电路及其微制造技术
  • 责任者:马天军编著
  • 出版社北京航空航天大学出版社
  • 出版年:2024.3
  • ISBN:978-7-5124-4359-4
  • 定价:39.00
  • 载体形态项:122页 24cm
  • 个人责任者:马天军编著
  • 学科主题:高频
  • 中图法分类号:TN710.6
  • 提要文摘附注:本书着重对0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz折叠波导高频结构及其微细制造方法进行了阐述。对0.1THz折叠波导采用超精密电火花线切割技术和LIGA技术来进行制造; 对于0.22THz折叠波导及其集成级联结构采用UV-LIGA技术来制造; 对于0.3THz折叠波导则采用LIGA工艺来制造; 对于1.03THz折叠波导高频结构采用DRIE技术来制造。针对不同的制造方法, 分别设计了具体的实施方案。本书对微细制造工艺过程中的关键工艺技术进行了描述。
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