文献类型:专著 浏览次数:3
  • 题名:半导体集成电路制造手册
  • 责任者:(美) Hwaiyu Geng等著
  • 出版社电子工业出版社
  • 出版年:2006
  • ISBN:7-121-03281-3
  • 定价:168.00
  • 载体形态项:16, 732页 27cm
  • 个人责任者:耿怀玉著、赵树武译
  • 学科主题:半导体集成电路
  • 中图法分类号:TN430.5
  • 提要文摘附注:本书介绍了有关半导体晶圆工艺、MEMS、纳米技术和平面显示器的最新信息, 以及最先进的生产和自动化技术 ; 包括良品率管理、材料自动运送系统、晶圆厂和洁净室的设计和运营管理、气体去除和废物处理管理等内容。
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