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■achi■cmul |
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■ar |
| 200 |
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■a硅微机械加工技术■d= Silicon micromachining■f(法) M. 埃尔温斯波克, (捷) H. +...... |
| 210 |
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■a北京■c化学工业出版社■d2007.05 |
| 215 |
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■a348页■c图■d24cm |
| 300 |
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■a国外优秀科技著作出版专项基金资助 |
| 330 |
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■a本书内容包括：硅的湿法腐蚀工艺及其物理机制的描述、硅的表面微机机械加工技术、LIGA工艺、硅-硅直接键合工艺、硅的干+...... |
| 500 |
10 |
■aSilicon micromachining■mChinese |
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■a微电子技术■Awei dian zi ji shu |
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■aTN4■v4 |
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_1 |
■a埃尔温斯波克■g(Elwenspoek, M)■4著■Aai er wen si bo ke■e法 |
| 701 |
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■a扬泰■g(Jansen, H.)■4著■Ayang tai■e捷 |
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■a姜岩峰■4译■Ajiang yan feng |
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■aGSXY■fTN4/A294■g0741691■g0741692■g0741693■g0741694■g074169+...... |
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