文献类型:专著 浏览次数:2
  • 题名:集成电路制造技术教程
  • 责任者:李惠军编著
  • 出版社清华大学出版社
  • 出版年:2014
  • ISBN:978-7-302-37032-1
  • 定价:39.00
  • 载体形态项:315页 26cm
  • 个人责任者:李惠军编著
  • 学科主题:集成电路工艺
  • 中图法分类号:TN405
  • 提要文摘附注:本课程教学内容讲授现代集成电路制造基础工艺,重点阐述核心及关键制造工艺的基本原理。教学内容共分为十六章节。本书内容丰富、文字简练、图文并茂、结合实际,较为详尽地阐述了当代集成电路制造领域的核心知识点。
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