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■a集成电路制造技术■f杜中一著■AJi Cheng Dian Lu Zhi Zao Ji Shu |
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■a北京■c化学工业出版社■d2016.04 |
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■a172页■d24cm |
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■a《集成电路制造技术》一书全面系统地介绍了集成电路制造技术，内容包括：集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的+...... |
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■a集成电路工艺 |
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